旋转气浮平台HY03DX（66-248）-QF_旋转气浮平台_精密气浮调整台系列_产品中心

1.闭式气浮轴承结构，高精度定位，稳定性好，纳米级跳动误差，适用于于晶圆加工与检测、生物检测，光学检测和纳米设备制造等行业等

2.采用无刷直驱电机驱动，零齿槽效应和无扭矩纹波，高速度稳定性，使用时候可以平滑转动

3.转台承载能力大，可以侧放使用，解决气浮抱死问题，误差小，性能优越

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产品介绍

1.闭式气浮轴承结构，高精度定位，稳定性好，纳米级跳动误差，适用于于晶圆加工与检测、生物检测，光学检测和纳米设备制造等行业等

2.采用无刷直驱电机驱动，零齿槽效应和无扭矩纹波，高速度稳定性，使用时候可以平滑转动

3.转台承载能力大，可以侧放使用，解决气浮抱死问题，误差小，性能优越

规格参数

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产品图纸

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