直线气浮平台HY03ZDY(100-1500)-QF

1.配有专门设计的空气轴承,这些轴承针对刚度和负载能力进行了优化,配合使用花岗岩工作面,运行精度高,能达到前所未有的俯仰,横滚,偏航,直线度和平面度指标,适用于超精密研磨,光伏系统,高性能扫描,半导体产业,激光加工,晶圆处理等。

2.非接触运动,产品的性能水平保持恒定,无需维护和润滑,运动仅需要干燥和清洁的空气,适合无尘环境

3.无齿槽直接驱动器,以实现非常平稳的运动和精度,可根据需求进行定制。

产品介绍

1.配有专门设计的空气轴承,这些轴承针对刚度和负载能力进行了优化,配合使用花岗岩工作面,运行精度高,能达到前所未有的俯仰,横滚,偏航,直线度和平面度指标,适用于超精密研磨,光伏系统,高性能扫描,半导体产业,激光加工,晶圆处理等。

2.非接触运动,产品的性能水平保持恒定,无需维护和润滑,运动仅需要干燥和清洁的空气,适合无尘环境

3.无齿槽直接驱动器,以实现非常平稳的运动和精度,可根据需求进行定制。

规格参数

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