1.采用非接触式直线电机驱动，抗蠕动交叉滚柱导轨，具有纳米级微动步距，百纳米级定位精度，用于微纳加工、测试测量及光纤对准等领域。
2.直驱设计，直驱电机具有零间隙、零摩擦和良好的动态性能等特点，低速运行可保持平稳，高速时不会产生振动。
3.非接触式光栅闭环反馈，高动态性能，结构紧凑，高重复定位精度。
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