1.采用高精度交叉滚柱导轨,无刷力矩电机,高可靠性驱动机构,寿命长,适用于微纳加工、测试测量、生物医学及半导体等行业。
2.使用无槽无刷力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮和弹性联轴器连接方式,不存在反向间隙误差。
3.非接触式光栅闭环反馈,紧凑型结构设计,高动态性能
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