产品特点
1.非接触式气浮结构
2.精密直驱电机驱动
3.四轴运动实现高精度定位
4.大理石龙门气浮结构
5.Z轴重力平衡气缸配重
6.结构可定制
1. 采用非接触式气浮结构，精密直驱电机驱动，保证高直线度和平面度，适用于晶圆加工或检测。
2. 四轴运动实现高精度定位，配合激光器或检测系统，可进行高精密加工或检测。
3. 大理石龙门结构，刚度大稳定性好。
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