1.采用非接触式气浮导轨结构，直驱直线电机驱动，适用于晶圆激光加工，可应用于激光加工、CCD成像、LED封装检测、晶圆检测以及其它制造等行业。
2气浮结构保证高直线度高平面度指标，有效提升垂直方向性能，Z轴采用重力平衡气缸，确保的运行精度。
3.大理石龙门结构，刚度大，稳定性高，可根据需求定制。
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