三轴高精度大理石运动台HY05DL350-QF3_三轴高精度大理石运动台_高精度大理石系列_产品中心

1.采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈，使用于激光微纳加工、测试测量、半导体加工及检测等行业

2.非接触式气浮直驱结构，结构紧凑，高直线度和平面度，精度高

3.大理石基座，硬度高耐磨耐腐蚀，稳定性好，可根据需求定制。

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产品介绍

1.采用气浮导轨导向，直线电机质心驱动及光栅尺闭环反馈，使用于激光微纳加工、测试测量、半导体加工及检测等行业

2.非接触式气浮直驱结构，结构紧凑，高直线度和平面度，精度高

3.大理石基座，硬度高耐磨耐腐蚀，稳定性好，可根据需求定制。

规格参数

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