三轴高精度大理石运动台HY04DL(300-500)-QF3_三轴高精度大理石运动台_高精度大理石系列_产品中心

1.采用碳化硅陶瓷气浮导轨，高速响应频率及位置稳定性，实现超性能精度，适用于于半导体加工、检测，微纳加工、高速扫描等行业。

2.Y轴双驱双龙门结构，承载能力强，Z轴采用交叉滚柱导轨导向和直线电机驱动，无铁芯设计，使得运动平稳，纳米级位置抖动，提升系统精度性能

3.可根据需求定制。

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产品介绍

1.采用碳化硅陶瓷气浮导轨，高速响应频率及位置稳定性，实现超性能精度，适用于于半导体加工、检测，微纳加工、高速扫描等行业。

2.Y轴双驱双龙门结构，承载能力强，Z轴采用交叉滚柱导轨导向和直线电机驱动，无铁芯设计，使得运动平稳，纳米级位置抖动，提升系统精度性能

3.可根据需求定制。

规格参数

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产品图纸

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