1.三轴采用直驱电机驱动，XY轴采用直线电机，滑块滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈组成，C轴由直驱力矩电机驱动，精密轴承导向及圆光栅尺闭环反馈组成，适用于晶圆加工领域。
2.大理石基座，硬度高耐磨耐腐蚀，稳定性好，可根据需求定制。
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